1. 拋光機理
水合拋光是一種利用在工件界面上產(chǎn)生水合反應現象，用拋光盤(pán)的摩擦力去除工件表面上形成的水合層進(jìn)行加工的高效、超精密拋光方法。其主要特點(diǎn)是不使用磨粒和加工液．加工裝置與普通拋光機相同。所不同的是在水蒸氣環(huán)境中進(jìn)行加工。選用的拋光盤(pán)材料必須不與工件產(chǎn)生固相反應。水合拋光的去除量只有幾納米～十幾納米，所以可獲得無(wú)劃痕、平滑、晶格無(wú)畸變的潔凈表面。
陶瓷上刀
2 . 加工特性
藍寶石水合拋光時(shí)，接觸點(diǎn)的壓力越高越能促進(jìn)反應。接觸擦過(guò)速率（滑動(dòng)速率）對于產(chǎn)生高溫是有效的，但真實(shí)接觸點(diǎn)的接觸時(shí)間隨著(zhù)高速化而減少，反應時(shí)間減少有時(shí)反而帶來(lái)副作用。Si3N4互磨的水中拋光例子表明，每單位加工距離隙去的體積與互磨速率沒(méi)有關(guān)系，基本上是一恒值。界面反應生成物與反應時(shí)間成比例，反應時(shí)間是一真實(shí)接觸點(diǎn)的接觸時(shí)間的累積，若加工距離一定，加工速率越高，加工時(shí)間越短，則加工量就越少。
3 . 加工面性質(zhì)
藍寶石在水中互磨拋光試驗表明，水合反應拋光的前加工對表面粗糙度沒(méi)有很高的要求，只要用400號金剛石砂輪磨削就足夠了，拋光后所達到的表面粗糙度：?jiǎn)尉Р牧蟣Onm左右，多晶材料為30nm左右。
為研究藍寶石材料的拋光盤(pán)面的結晶性。藍寶石的破碎斷面與藍寶石拋光盤(pán)面比較，從電子衍射圖可知，兩者都具有優(yōu)異的單結晶性，并且沒(méi)有加工變質(zhì)層。用光電子分光分析(ECSA)也沒(méi)有發(fā)現品格畸變。
水合拋光法是以除去界面反應生成物的形式進(jìn)行加工的，因此，也有加工面反應生成物的殘留問(wèn)題。用離子顯微檢偏振鏡分析(IMA)的結果表明，加工表面只有殘留的氫氧化物。
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本文“先進(jìn)陶瓷的水合拋光”由科眾陶瓷編輯整理，修訂時(shí)間：2021-10-16 14:20:44
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